news 2026/5/1 8:34:21

用打线的方式做的金凸点的工艺流程是怎样的?

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张小明

前端开发工程师

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用打线的方式做的金凸点的工艺流程是怎样的?

知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:用打线的方式做的金凸点的工艺流程是怎样的?

Gold bump是什么?如图,是在芯片表面,用植球机,以热超声球焊的方式,在芯片焊盘上形成金凸点,用于倒装芯片中芯片与基板的连接。

一般使用的金线,会加入其他微量元素。广泛使用的组合有 Au-Al、Au-Cu、Au-Pa 等。

Gold bump的制作流程?1,打火形成金球,细金丝 (Gold Wire)通过Wire Clamp控制,送入 劈刀,打火杆放出高压电弧,产生局部高温,金丝顶端瞬间熔化,在表面张力作用下形成熔融球

2,金球被送到焊盘位置,焊盘预热,提高焊接质量,防止应力过大导致焊点破裂。

3, 劈刀向下压金球,使其接触焊盘。超声振动使金球的原子扩散到焊盘,实现良好的金属键合。温度能进一步增强焊接强度。

4,拉断金线,劈刀水平移动,产生一个横向切力,使金线在凸点尾部断开,完成打点,劈刀向上运动,进行下一次焊接。

Gold bump的高阶做法?如上图,有时候一个凸点的高度不够,需要在一个金凸点上再打一个凸点。

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