MKS AX7700-10 远程等离子源

MKS AX7700-10 远程等离子源（RPS）是 MKS ASTRON Paragon 系列中的一款智能射频等离子电源。该产品采用远程等离子体源（RPS）设计，将等离子体生成区与工艺腔分离，有效避免电极污染与金属溅射。凭借高水平的气体离解率（>95%）和智能数据报告功能，为半导体及泛半导体行业的干法清洁与工艺处理提供高效、低颗粒的等离子环境。

一、产品应用领域（10条）

1. 半导体 CVD 腔室干法清洁

2. 半导体 ALD/ALE 腔室清洁

3. 半导体刻蚀工艺

4. 半导体晶圆干法清洗

5. 光刻胶去除（去胶工艺）

6. 晶圆表面活化处理

7. 平板显示器（FPD）面板制造

8. LED 芯片制造

9. 光伏电池板制造

10. 一般工业等离子体表面处理

二、核心产品参数（5条）

1. 产品系列：MKS ASTRON Paragon 系列远程等离子源

2. 型号：AX7700-10

3. 气体离解率：＞95%

4. 气体流量：最高 8 SLM

5. 合规认证：CE 标志

结尾：综上所述，MKS AX7700-10（ASTRON Paragon 系列 RPS 远程等离子源）凭借其＞95%的高气体离解率、最高 8 SLM 的气体流量及智能数据报告功能，为半导体 CVD/ALD 腔室清洁及泛半导体行业相关工艺提供了高效、低污染的等离子体解决方案。