SPM为什么叫食人鱼溶液？

食人鱼溶液（Piranha Solution），又被称为SPM，即硫酸-双氧水混合液，是半导体清洗工艺中氧化能力最强的清洗液之一，专门用于去除重度有机污染。

SPM 的配方组成

为什么叫"食人鱼"？

混合时发生剧烈放热反应：

H2SO4+H2O2→H2SO5+H2O

生成的过一硫酸（H₂SO₅）才是真正的活性物种，氧化电位极高（约+1.81V），能在数分钟内将几乎所有有机物氧化分解为CO₂和H₂O，腐蚀性极强，因此得名。

作用机制？

1，浓硫酸的脱水碳化作用：

有机物→H2SO4碳化物（C）+H2O

2，H₂SO₅的强氧化作用：

C+H2SO5→CO2↑+H2SO4

两步反应协同，有机物先被碳化，再被氧化气化，最终完全去除。

主要去除对象

Tom的晶圆电镀液业务：

1，晶圆镍铁电镀液，铜电镀液，金电镀液

2，桌面式晶圆电镀机，清洗机，湿电子在线分析仪